A,漏率的定義和單位

對于一個體積V容器,單位時間Δt內壓力的變化量ΔP與該容器體積V的乘積就是漏率:

Q=V*ΔP/Δt

漏率的常用單位:Pa. m3/s, mbar.L/s,  Torr.L/s

漏率其實反應的是在一定時間內泄露的氣體分子的數量,嚴格的講,沒有泄露的系統(tǒng)是不

存在的。檢漏的目的在于:將漏率控制在一個可以接受的,不影響系統(tǒng)正常運行的程度。

B,幾種檢漏的方法及應用

(1)氣泡法檢漏

將打壓后的被測件浸在水槽里,或者采用肥皂泡法,氣泡可以反應漏率的大小,此方法通常用來檢測一些小物品。例如:工藝氣瓶的檢漏、布氣板的檢漏、磁控靶體的檢漏,弧源水冷座的檢漏,真空室水冷套的檢漏等,雖然不能定量的檢測出漏率的大小,但是判斷是否存在漏點,是一種非常簡易而又有效的檢漏方法。

(2)壓降法檢漏

將待測件加上正壓或者抽真空到一定壓力,然后關閉閥門,通過真空計觀察單位時間內的壓力變化。采用抽真空的壓降法可以作為對漏率大小的評估。漏率檢測作為一項非常重要的技術指標,可作為設備驗收的一項標準。

(3)氣體檢測法檢漏

氣體檢測法可分為:氨氣檢漏法、鹵素檢漏法和氦質譜檢漏法,其中較為常用和普遍的是氦質譜檢漏法。氦氣和其他氣體相比有很多優(yōu)點,例如:不能燃燒、無毒、價格適當、很輕、化學性質不活潑、氣體分子小等。


使用檢漏儀的注意事項:

掌握適當的噴氣時間

檢漏的次序.從上往下、由遠及近噴吹

使用前要進行校準

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